Veiktspējas prasību analīzetitāna mērķidažādās nozarēs
Gmail:alisa@jmyunti.com
I. Titāna mērķu pamatprasības
① Tīrība: kā viens no galvenajiem mērķa materiālu veiktspējas rādītājiem, tīrībai ir būtiska ietekme uz plāno kārtiņu veiktspēju. Praktiskā lietošanā prasības mērķa tīrībai dažādās nozarēs atšķiras. Piemēram, mikroelektronikas nozarē, nepārtraukti palielinoties silīcija plāksnīšu izmēram un nepārtraukti samazinoties vadu platumam, palielinās arī prasības attiecībā uz mērķa tīrību. Agrāk 99,995% mērķa tīrība varēja atbilst procesa prasībām 0.35um IC, bet tagad, lai sagatavotu 0.18um līnijas, mērķa tīrībai jāsasniedz 99,999% vai pat 99,9999%.
② Piemaisījumu saturs: piemaisījumi mērķa cietajā vielā un skābekļa un ūdens tvaiki porās ir galvenie nogulsnēto plēvju piesārņojuma avoti. Tāpēc dažādiem mērķiem paredzētiem mērķiem ir atšķirīgas prasības attiecībā uz piemaisījumu saturu. Piemēram, tīra alumīnija un alumīnija sakausējuma mērķiem, ko izmanto pusvadītāju rūpniecībā, ir īpašas prasības attiecībā uz sārmu metālu saturu un radioaktīvo elementu saturu.
③ Blīvums: lai samazinātu poras mērķa cietajā vielā un uzlabotu izsmidzinātās plēves veiktspēju, parasti mērķim ir jābūt lielākam blīvumam. Mērķa materiāla blīvums ne tikai ietekmē izsmidzināšanas ātrumu, bet arī ietekmē plēves elektriskās un optiskās īpašības. Turklāt, uzlabojot mērķa materiāla blīvumu un izturību, tas var arī labāk izturēt termisko spriegumu izsmidzināšanas procesa laikā. Tāpēc blīvums ir arī viens no galvenajiem mērķa materiāla darbības rādītājiem.
④ Graudu izmērs un graudu lieluma sadalījums: Mērķa materiāls parasti ir polikristāliska struktūra, un graudu izmērs var svārstīties no mikroniem līdz milimetriem. Vienam un tam pašam mērķa materiālam izsmidzināšanas ātrums mērķim ar smalkiem graudiem parasti ir ātrāks nekā mērķa ar rupjiem graudiem; un plēves biezuma sadalījums, kas uzklāts, izsmidzinot mērķi ar nelielu graudu izmēra atšķirību (vienmērīgs sadalījums), ir vienmērīgāks.
2. Tīrības prasības titāna mērķiem dažādās nozarēs
① Integrētajās shēmās izmantotie titāna mērķi: integrētajām shēmām ir ārkārtīgi augstas tīrības prasības titāna mērķiem, parasti lielākas par 99,995%, lai nodrošinātu plēves veiktspēju un stabilitāti.
② Plakanā paneļa displejos izmantotie titāna mērķi: plakanā paneļa displejos ietilpst šķidro kristālu displeji, plazmas displeji, elektroluminiscējošie displeji un lauka emisijas displeji. Šajos displejos bieži tiek izmantota izsmidzināšanas pārklājuma tehnoloģija, lai ražošanas procesā uzklātu plānas kārtiņas. Tostarp titāna mērķiem, kas ir viens no svarīgākajiem izsmidzināšanas mērķiem, parasti ir jābūt tīrākam par 99,9%. Turklāt titāna mērķus var plaši izmantot arī augsto tehnoloģiju jomās, piemēram, elektronikā, informācijas rūpniecībā, mājas dekorēšanā un automobiļu stikla ražošanā. Šajās nozarēs titāna mērķus galvenokārt izmanto integrālo shēmu, plakano paneļu displeju pārklāšanai vai kā dekorēšanai un stikla pārklājumam. Optimizējot titāna mērķu veiktspēju un tīrību, var izpildīt dažādu nozaru prasības attiecībā uz plēves veiktspēju un stabilitāti.
Uzņēmums: Baoji Dynamic Trading Co., Ltd
Valsts: Ķīna
Pievienot: Baoti ceļš, Jintai, Baoji pilsēta, Shaanxi, Ķīna
Cel:+86 18391896637(WHATSAPP)/18391894207
Gmail:alisa@jmyunti.com
Vietne: www.jm-titanium.com
